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晶圓檢測AVI，針對半導體晶圓在制成中的多種瑕疵缺陷進行檢測，通過多站光學成像設置，分别檢測相(xiàng)應的尺寸及缺陷問題，保證缺陷全覆蓋；産品精密微小，通過高精度相(xiàng)機結合多種檢測算法，保證良好的檢測效果，且實現(xiàn)較好的穩定性應用。 提升UPH
異物、挂上毛刺、破損、毛絲、污染顆粒、翹起以及相(xiàng)應的尺寸測量
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